반도체 식각 장비 내 보호코팅 필요한 부품

식각 장비 내 보호코팅이 요구되는 부품은 윈도우, 인젝터, 샤워헤드, 전극, 챔버 라이너, 웨이퍼 클램프 등이 있다. 
대부분의 부품은 기존 코팅 기술인 APS(Atmospheric Plasma Spray)와 AD(Aerosol Deposition)로도 충분하지만, 웨이퍼와 마주보고 있는 챔버 상단의 윈도우와 인젝터 등 핵심 부품은 파티클에 더욱 민감하여 치밀한 코팅막과 특수 소재의 코팅이 요구된다.